儀器資訊丨108C 真空鍍碳儀 Carbon Coater 108c/Auto
發(fā)布日期：2020-08-11
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? 108C 真空鍍碳儀
108C真空鍍碳儀主要適用于掃描電子顯微鏡（ SEM ）和電子探針等分析表征設備的樣品鍍碳處理。程序化的蒸發(fā)反饋控制技術(shù)保證了成膜質(zhì)量。同時(shí)，該產(chǎn)品結構合理緊湊，易于操作，抽放氣周期較快。
? 產(chǎn)品特性
1、電流、電壓檢測器和先進(jìn)的反饋控制技術(shù)使得鍍碳過(guò)程穩定、高效。
2、脈沖、連續模式隨意切換。
3、提供“手動(dòng)”和“自動(dòng)”兩種模式。
?產(chǎn)品參數
產(chǎn)品參數 | |
腔體尺寸 | Ф150mm×H165mm |
蒸發(fā)源 | Ф6.15mm高純碳棒 |
樣品臺 | 12插孔，高度30mm可調真 |
空度大氣 | -0.01mb |
工作電流 | 0-200A |
| 108系列真空泵技術(shù)參數表 | |
配置構型 | 高速；直接驅動(dòng)；兩級 |
轉速 | 2.5m3/hr@ 50Hz |
極限真空 | 6×10-3 mbar |
額定功率 | 150 W @ 50 Hz |
法蘭連接 | NW/KF 16 (Intake and Exhaust) |
填充油量 | 0.4 ltr |
泵油類(lèi)型 | Pfeiffer P3 |
額定電壓 | 220-240V (specify on order) |
? MTM-10高分辨膜厚檢控儀 （ 選配 ）
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