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? 108A 小型離子濺射儀

108A 小型離子濺射儀是較為常用的樣品導電預處理設備，主要應用于掃描電子顯微（SEM）和X射線(xiàn)微觀(guān)分析等儀器的樣品前處理階段。其工作原理是在真空條件下，用高速離子轟擊靶材，使靶材原子濺射出來(lái)，遷移到樣品表面形成鍍膜，以增加樣品的導電性。在實(shí)際應用中，可根據不同的樣品特性和觀(guān)察目的來(lái)選配不同材質(zhì)的靶材。

?  產(chǎn)品特性   

 1、提供“自動(dòng)”和“手動(dòng)”兩種操作模式。2、可以通過(guò)參數控制或膜厚監控儀（選配）來(lái)實(shí)現鍍膜的可重復性。3、可根據成膜速率和真空度調控工作電流，以獲得高質(zhì)量鍍膜效果。4、采用直流磁控管“低壓低溫”濺射，減少對試樣的熱影響。5、結構設計合理，可快速更換濺射靶材。?產(chǎn)品參數

?  MTM-10高分辨膜厚檢控儀 （ 選配 ）

該產(chǎn)品是通過(guò)收集頂部石英晶體的振蕩頻率的變化信號來(lái)檢測濺射膜厚。分辨率為0.5nm。可原位量化濺射膜厚，便于實(shí)現鍍膜的可重復性。

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